MKS 979B-01-0013 是一款高精度的真空压力传感器，属于 MKS Instruments 的 Baratron® 系列，广泛应用于半导体制造、真空系统控制和精密气体测量领域。

主要技术参数

• 测量范围： 0-100 托
• 精度： 0.05%
• 长期稳定性： 0.01%/年
• 重复性： 0.02%
• 响应时间： <1 毫秒
• 输出信号： 0-5V
• 供电电压： 24V DC

应用领域

• 半导体制造： 适用于蚀刻、沉积、离子注入等精密工艺
• 薄膜沉积： 可用于 PVD、CVD、ALD 工艺
• 真空镀膜： 应用于光学镀膜、金属镀膜等行业
• 气体分析： 适用于色谱、质谱和红外光谱等精密仪器
• 科研实验： 物理、化学、材料科学等领域的实验室真空测量

该传感器采用电容式压力测量技术，能够在高真空环境下提供极高的稳定性和精确度，是许多高端工业和科研应用的理想选择。