EBSD技术原理及系统.PDF

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EBSD技术原理及系统

康 伟

2008.10 西工大

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EBSD —— 扫描电镜附件之一

• 安装于电子显微镜 (场

发射或钨灯丝电镜)或者

电子探针上的EBSD系统

示意图

• 一般来说，EBSD探头垂

至于电子束光轴和样品台

倾斜轴安装

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EBSD: Electron BackScattered Diffraction (Detector)

电子背散射衍射(探测器或分析系统)

EBSP：Electron BackScattered Patterns

电子背散射衍射花样(Kikuchi bands 菊池带)

OIM： Orientation Imaging Microscopy

取向成像显微技术

另外较早时还可能见到BKD、BEKP 、ORKID等说法

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EBSD技术的由来与沿革

EBSD分析的技术背景

EBSP的产生机理与标定过程

EBSD应用领域及举例

EBSD的系统构成

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1928年Seishi Kikuchi 第一次观察到了

电子衍射形成的Kikuchi花样。

'P' pattern of calcite (Kikuchi, Japanese

Journal of Physics, V, 2, 1928.)

Thanks to Robert Schwarzer for the image

'P' pattern of mica (Kikuchi, Japanese

Journal of Physics, V, 2, 1928.)

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1954年，Alam, Blackman, Pashley. ‘High angle Kikuchi patterns.’

Proc. Royal Society of