前言

射频电源在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色，从等离子体的产生到刻蚀过程，再到薄膜沉积技术，射频电源的应用确保了半导体器件制造的精确性和高效率。EtherCAT 凭借其高效的通信性能、强大的适应性，成为了半导体行业中广泛采用的工业以太网通讯技术。

因此国内薄膜沉积，刻蚀设备内部广泛使用 EtherCAT 技术，而射频电源作为薄膜沉积，刻蚀设备内的一个部件，需要对外兼容 EtherCAT 通信协议，并确保在苛刻环境下实现高质量、稳定的通信。

客户面临的挑战

• **多变的市场：**客户目前需求 EtherCAT 协议，但不排除未来需要其他的工业通信协议，例如：Profibus DP, DeviceNet，如何才能快速应对需求的变化。
• **苛刻的工作环境：**射频电源的应用场景是半导体设备，现场要求高稳定性，一旦生产过程中出现问题，损失巨大。
• **有限的研发资源：**客户的核心竞争力是射频产品本身的开发，有限的资源无法投入复杂工业通信协议的研究开发，甚至协议的维护升级。

HMS 解决方案

经过多款产品对比，客户最终选择了 Anybus CompactCom M40 方案。在该方案中，射频电源主控 MCU 通过 SPI 与 M40 进行通信，M40 则负责处理与实现通信协议。

在国内本土化专业技术支持的帮助下，客户仅用约 25 天便完成了产品开发并成功面向市场发布。经过这一次的开发，射频电源实现了对 EtherCAT、DeviceNet 和 PROFIBUS DP 三种常见半导体工业通信协议的兼容。

方案特点

• **多工业通信协支持：**单一的硬件设计可以轻松兼容多种工业通信协议
  丰富的接口：硬件接口与 CPU 之间可以通过 UART,SPI 或 8bit/16bit 并口
• **开发简单：**缩短产品上市时间
• **易于使用：**可滑入模块槽，方便终端用户安装
• **预认证：**已通过相关网络组织的预认证，可以帮助客户实现更快的产品级认证

半导体行业 EtherCAT 一致性

半导体设备制造厂商除了开发顶级设备外，每个自动化设备必须符合 EtherCAT 技术集团(ETG) 的 EtherCAT 半导体规范。Anybus CompactCom 40 是一种支持 EtherCAT 半导体配置文件的通信解决方案。硬件和软件都支持 ETG.5003。这大大减少了产品开发和上市时间。

具体方案可参考往期文章：

方案影响

客户与 HMS 自 2022 年开始合作， 采用 M40 方案的射频电源产品已成功批量应用在半导体行业， 产品的功率从几千瓦到几十千瓦在客户现场稳定运行， 并兼容了半导体行业常规协议 EtherCAT, DeviceNet, PROFIBUS DP。M40 成功助力客户射频电源在半导体行业建立良好口碑， 目前年用量达上千。

客户评价

「Anybus 方案在半导体行业射频电源产品上有大量的应用案例，我们相信他们的产品稳定可靠，在选择 Anybus 方案后，我们很惊讶他们产品开发也是如此简单，我们从开发到样机仅用了 25 天，这个对我们开发市场非常重要。」