MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术。目前在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、汽车、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。

扭矩传感器

扭矩传感器，又称力矩传感器、扭力传感器、转矩传感器、扭矩仪。采用应变片电测技术 ，在弹性轴上组成应变桥，向应变桥提供电源即可测得该弹性轴受扭的电信号。通过对各种旋转或非旋转机械部件上对扭转力矩感知的检测。该传感器可以准确测量各种扭力、转速及机械功率。

光纤传感器

光纤传感器是一种将被测对象的状态转变为可测的光信号的传感器。光纤传感器的工作原理是将光源入射的光束经由光纤送入调制器，在调制器内与外界被测参数的相互作用，使光的光学性质如光的强度、波长、频率、相位、偏振态等发生变化，成为被调制的光信号，再经过光纤送入光电器件、经解调器后获得被测参数。

位移传感器

位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，位移传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。该感器的应用范围相当广泛，常用在工业自动化或者建筑桥梁等方面。