在芯片的自动化测试中，各类的测试仪器仪表是必不可少的工具，本文将归纳总结一些在芯片电性能自动化测试中常用的设备，以供测试时参考。
一、核心测试设备
自动测试设备（ATE）
芯片性能测试的核心，可自动化完成芯片电压、电流、数字信号等测试，施加到芯片引脚后采集输出数据，快速判断芯片功能、时序、功耗等参数是否符合规格，支持批量测试提升效率。例如纳米软件的ATECLOUD芯片测试系统。

信号源
为芯片提供测试所需的激励信号，包括正弦波、方波、脉冲波、数字逻辑信号等，模拟芯片实际工作时的输入场景，触发芯片产生响应以验证电性能。
示波器
核心用于测量信号波形与时序参数，比如信号的上升沿 / 下降沿时间、脉冲宽度、相位差、抖动等，判断信号完整性，同时可辅助测量电压幅值。

数字万用表
精准测量芯片的直流电压、直流电流、电阻等基础电参数，常用于芯片静态工作点校准、电源引脚电流检测、引脚间绝缘电阻测试。
功率分析仪
专门测量芯片的功耗参数，包括静态功耗、动态功耗、平均功率、峰值功率等，尤其适配低功耗芯片的精准功耗测试。
LCR 表
测量芯片内置或外接无源器件的电参数，比如电容、电感、电阻及品质因数，验证芯片内部无源组件的一致性和性能。

二、辅助测试设备
探针台（晶圆级测试）/ 测试座（封装后测试）
实现芯片与核心测试设备的稳定电气连接：探针台承载晶圆并精准定位，通过探针接触裸芯片焊盘；测试座适配封装芯片引脚，确保测试信号无损耗传输。

电子负载箱
模拟芯片的实际负载场景，让芯片工作在接近真实应用的状态下，验证芯片带载能力和输出稳定性。
屏蔽箱
隔绝外部电磁干扰，同时防止芯片测试时产生的电磁辐射影响其他设备，保证电压、电流、信号等测量数据的准确性。
高精度直流电源
为芯片和测试设备提供稳定、可调的直流供电，输出电压 / 电流纹波小，避免供电波动影响电性能测试结果。
更多芯片自动化测试解决方案可关注“纳米软件”